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PI六軸精密壓電平臺P-587 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米 大旋轉角度達1微弧度

PI（Physik Instrumente）六軸精密壓電平臺 德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。PI不僅開發(fā)和生產各種定位平臺和執(zhí)行器

PI P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng) 6個運動軸：3個為線性，3個為旋轉 行程達200微米（線性）和1毫弧度（偏 擺角）

PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀-北京漢達森 自動配置和快速部件更換 機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

*PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀 并聯(lián)測量技術可實現(xiàn)導向誤差的自動化 補償 分辨率50皮米 行程5微米×5微米×5微米 真空兼容版本